近日，大连科利德光电子材料有限公司长兴岛分公司半导体用氟硅材料电子级化学品中试项目环评公示。公司精准锚定半导体高端材料市场刚需，全力推进该重点中试项目建设，持续完善高端电子特气产品矩阵，助力国内半导体核心材料国产化替代，为产业链自主可控发展赋能。
据公示信息显示，该中试项目坐落于大连市长兴岛经济技术开发区，选址租赁区域创新中心二期L3中试实验楼作为研发及中试生产场地，将配套新建三氟碘甲烷、锗烷全套专业化产线设备。项目依托长兴岛高端精细化工、电子材料产业集聚优势，重点开展高端电子化学品的工艺验证、试制与技术迭代工作，高度贴合区域高端化工及半导体配套产业发展定位，产业配套完善、发展基础扎实。
在产品布局上，项目聚焦半导体制造核心耗材，重点开展三氟碘甲烷、锗烷两种高端含氟特种电子气体的中试生产。作为氟硅产业链关键核心产品，两类特种气体是半导体薄膜沉积、刻蚀等核心制造工序的重要前驱体材料。当前国内半导体产业高速迭代，下游芯片、先进封装等领域对超高纯度电子化学品的需求持续攀升，高端电子特气国产化替代需求愈发迫切，相关产品市场应用前景广阔。
工艺与产能方面，该项目采用成熟稳定、安全性高的液相法工艺路线，以氧化锗为核心原料制备锗烷，以三氟乙酸钾为原料生产三氟碘甲烷，整套工艺可控性强，可稳定保障产品超高纯度标准。根据项目公示规划，三氟碘甲烷设计年产能为10吨，锗烷设计年产能为5吨，能够精准匹配半导体行业对高端电子化学品小批量、高纯度、高品质的试验及量产应用需求。
此次环评公示，标志着项目前期工作取得关键进展，目前项目已全面进入环境影响评价公众参与阶段。本次环评工作由辽宁省环境规划院有限公司受托全权开展，将严格遵循国家及地方环保标准完成全流程评估审查，确保项目合规建设、绿色生产、高效落地。
业内分析人士表示，当前我国电子级特种气体国产化进程持续提速，但高端半导体前驱体材料仍存在技术壁垒高、国产化率偏低等问题。大连科利德本次中试项目的落地推进，不仅能够助力企业积累高端氟硅电子化学品的生产工艺、提纯技术及质控经验，进一步夯实企业在电子特气领域的核心竞争力，更能有效补齐国内高端半导体电子化学品产业短板，为国内半导体产业链供应链安全稳定提供坚实的材料支撑。
